INDUSTRIELLE AUTOMATION 4/2023

SENSORIK UND MESSTECHNIK

SENSORIK UND MESSTECHNIK 01 Bei der Abstandsmessung lassen sich Abstände von bis zu 13 Schichten messen 02 In allen Anwendungen, in denen Abstände und Dicken in hoher Präzision und gegebenenfalls auch gleichzeitig gemessen werden müssen, eignen sich die Weißlicht-Interferometer 01 02 vermessen. Lieferbar sind die Modelle IMS5x00MP-THxx für die Dickenmessung und IMS5x00MP-DSxx für die Abstandsmessung. Besteht das Messobjekt im Fall der Dickenmessung etwa aus zwei Schichten, wird das Licht an der Vorderseite, der Grenze zwischen beiden Schichten und an der Rückseite reflektiert. Da nun alle reflektierten Strahlen miteinander interferieren, ergibt dies nach der Fouriertransformation drei Peaks im Spektrum. Bei drei Schichten werden daraus schon sechs Peaks. Insgesamt lassen sich die Dicken von bis zu fünf Schichten stabil messen – theoretisch sind sogar bis zu 13 Schichten möglich. Die minimale Dicke, die das Gerät noch messen kann, beträgt 30 µm. Auch ein Luftspalt zwischen zwei Materialien lässt sich mit dem Gerät sehr präzise vermessen. Um aus den Peaks, die das Gerät aufnimmt, einen Absolutwert für die Dicke zu bestimmen, muss der jeweilige Brechungsindex des Materials in den verschiedenen Schichten bekannt sein. Für alle üblichen Materialien ist dieser bereits im Gerät hinterlegt und kann vor Beginn der Messung einfach ausgewählt werden. Da die Dickenmessung unabhängig vom Abstand ist, stören Unregelmäßigkeiten bei der Positionierung das Messergebnis nicht. Das Gerät für die Abstandsmessung, das einen internen Referenzstrahl verwendet, funktioniert analog und kann die Abstände von ebenfalls bis zu 13 Schichten messen. Über die Abstände der einzelnen Schichten lassen sich auch jeweiligen Schichtdicken bestimmen, wodurch eine gleichzeitige Messung von Abstand und Schichtdicke möglich wird. Die minimale Schichtdicke, die diese Geräte messen können, beträgt 10 µm. IN ZAHLREICHEN BRANCHEN EINSETZBAR In allen Anwendungen, in denen Abstände und Dicken in hoher Präzision und gegebenenfalls auch gleichzeitig gemessen werden müssen, eignen sich die Weißlicht-Interferometer von Micro- Epsilon. Die Geräte bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor und einem Controller. Anwender können komfortabel über einen Standardbrowser auf den integrierten Webserver des Controllers zugreifen, um etwa Einstellungen vorzunehmen. Über die integrierten Schnittstellen wie Ethernet lassen sich die Messgeräte sehr einfach in Produktionsumgebungen integrieren. Mögliche Einsatzgebiete finden sich in Anwendungen mit Gläsern oder Folien. Typisches Beispiel ist die Halbleiterindustrie, wo der genaue Abstand zum Wafer gemessen werden muss. Bei der Belichtung lässt sich hier außerdem der Abstand zwischen Wafer und Maske bestimmen und gleichzeitig noch die Dicke der Beschichtung auf dem Wafer. Beschichtetes Glas in der Glasindustrie ist ein weiteres Beispiel, bei dem die Messgeräte zum Einsatz kommen. Dabei lassen sich sowohl die Glasdicke als auch die Dicke der Beschichtung überprüfen. Solche Gläser werden etwa als Displaygläser verwendet. Bei der Folienherstellung mit Blasformanlagen kann die Weißlicht-Interferometrie eingesetzt werden, um die korrekte Folienstärke zu überprüfen, wenn die Blasfolien zusammengelegt werden. In allen Anwendungen lassen sich die Geräte in Inline-Inspektionsanlagen zur Qualitätssicherung integrieren. Sie sind sowohl für das industrielle Umfeld als auch in Reinräumen oder im Vakuum einsetzbar und führen präzise Messungen bis in den Nanometer- oder Sub-Nanometer-Bereich durch. Bilder: Micro-Epsilon www.micro-epsilon.de UNTERNEHMEN Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG Königbacher Str. 15, 94496 Ortenburg Tel.: 08542 / 168 - 0 E-Mail: info@micro-epsilon.de AUTOR Dr.-Ing. Alexander Streicher, Produktmanager Sensorik, Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG, Ortenburg 12 INDUSTRIELLE AUTOMATION 2023/04 www.industrielle-automation.net

SENSORIK UND MESSTECHNIK CODES ZUVERLÄSSIG LESEN Der Sensorspezialist Baumer erweitert sein Produktportfolio um einen neuen, kompakten Multicode-Leser. Der IDC200 kann bis zu 40 Frames pro Sekunde verarbeiten – auch bei unterschiedlichen Codetypen. Die lichtstarke interne Beleuchtung ermöglicht es, herausfordernde Anwendungen ohne externe Lichtquelle zu bewältigen. Spiegelnde Oberflächen, wechselnde Lichtverhältnisse oder Modulgrößen an der unteren Auflösungsgrenze sollen dem IDC200 keine Probleme bereiten. Das Gerät liest auch direkt markierte und genadelte Codes. Via USB-C lässt sich der Multicode-Leser einfach an einen Computer anschließen und per Webinterface in Betrieb nehmen. Dank frei konfigurierbarem Datentelegramm lässt er sich einfach in bestehende Systeme einbinden. Der IDC200 liest Codes mit einer Modulgröße von bis zu 0,03 mm (1D) oder 0,07 mm (2D) schnell und zuverlässig. www.baumer.com WIE SIE IHRE PROZESSE BESTENS IM BLICK BEHALTEN Mit dem Jumo varitron 500 touch steht Anwendern eine smarte Lösung für einfache Automatisierungsapplikationen zur Verfügung. Er kann in zahlreichen Branchen eingesetzt werden. Die Lösung macht übersichtliche Prozessund Anlagenvisualisierungen sowie Bedienoberflächen möglich. Die volle Konnektivität zu Systemen und Komponenten ist dank Unterstützung zahlreicher Feldbussysteme wie Profinet IO-Controller und Ethercat Master sowie Kommunikationsprotokolle wie OPC UA gegeben. Basis des varitron 500 ist eine CPU mit einem 800 MHz Quad-Core-Prozessor. Weitere Besonderheit ist ein kundenspezifischer Konfigurations- und Prozess-Dateneditor. Das Gerät ist mit einem kapazitiven Touchscreen ausgestattet und mit Schutzart IP65 oder IP69K erhältlich. www.jumo.net